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发明名称 LOADING AND UNLOADING DEVICE FOR A COATING UNIT
摘要
申请公布号 KR101125431(B1) 申请公布日期 2012.03.27
申请号 KR20057000435 申请日期 2003.07.07
申请人 发明人
分类号 B25J15/00;C23C16/44;B65G1/00;C23C14/56;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 B25J15/00
代理机构 代理人
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