发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen unter Anwendung eines selektiven elektrolytischen Ätzverfahrens
摘要
申请公布号 AT300038(B) 申请公布日期 1972.07.10
申请号 AT19680001730 申请日期 1968.02.23
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人
分类号 C25F3/12;H01L21/00;H01L21/3063;H01L27/06;(IPC1-7):H01L7/52 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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