发明名称 ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101125568(B1) 申请公布日期 2012.03.22
申请号 KR20090124092 申请日期 2009.12.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址