摘要 |
于应力测定装置1中,将透过物镜457而照射于基板9之光的反射光利用遮光图案摄像部43而受光,藉此,取得配置于光学系统45的孔径光阑部453之遮光图案453a之像。于控制部5,根据来自遮光图案摄像部43之输出,求出复数的倾斜向量测定区域中之基板9的倾斜向量以及基板9之表面形状,根据利用表面形状而求出之曲率半径、膜厚以及基板9之厚度,求出膜内应力。于应力测定装置1中,由于来自物镜457光系于基板9上大致成为平行光,因此可于基板9上之各倾斜向量测定区域中,不调整焦点地进行测定,可容易且迅速地求出基板9之表面形状。其结果,可容易且迅速地求出基板9上之膜内应力。 |