发明名称 奈米碳管制备装置
摘要 本发明涉及一种奈米碳管制备装置,其包括一反应炉、一导流腔体及一气体输送管。该反应炉包括一第一进气口及一与该第一进气口相对设置之出气口。该导流腔体设置于该反应炉内,其包括一顶部及一第二进气口,该顶部设置有复数开口,奈米碳管生长用反应气体流出该复数开口之方向与所述奈米碳管之生长方向平行。该气体输送管用于向导流腔体内输送反应气体,其包括一第一端口及一第二端口,该第一端口与第一进气口密封套接,第二端口与第二进气口密封套接。
申请公布号 TWI360584 申请公布日期 2012.03.21
申请号 TW094137885 申请日期 2005.10.28
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号 发明人 萧博元;张庆州;何纪壮
分类号 C23C16/44;C23C16/26;C01B31/04 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
地址 新北市土城区自由街2号