镀膜系统及其隔离装置

摘要

本发明公开了一种镀膜系统及其隔离装置。镀膜系统用以对物件进行镀膜。镀膜系统包括工作站与隔离装置。物件设置于工作站。隔离装置用以对于物件进行隔离。隔离装置包括本体、第一工作流体、第二工作流体、第一导引部与第二导引部。本体用以产生第一能量。第一导引部用以导引第一工作流体通过本体而形成第一工作区，并且于第一工作区对于物件进行涂覆。第二导引部用以导引第二工作流体通过本体，于第二工作流体受到本体所产生的第一能量的激发而形成第二工作区，利用第二工作区对于第一工作区与物件进行隔离。

主权项

一种隔离装置，用于一物件在被涂覆时与外界环境隔离，该隔离装置包括：本体，包括相互间隔的多基座且可绕着一轴心进行转动，并且该本体的该多基座可产生第一能量；第一工作流体；第二工作流体；第一导引部，导引该第一工作流体通过该本体而形成第一工作区，以对该物件进行涂覆；以及第二导引部，可绕着该轴心进行转动并导引该第二工作流体通过该本体，该第二工作流体受到该本体所产生的该第一能量的激发而形成第二工作区，其中该第二工作区具有一中空柱状结构，用于将该第一工作区及该物件完全包覆，以与该外界环境隔离。