Mo系溅射靶板及其制造方法

摘要

本发明通过对微量元素的含量条件和轧制条件进行组合，使变形抗力降低，进而抑制边部断裂等龟裂的发生，由此提供能以高成品率且高效地制造具有大面积的Mo系靶板。本发明的Mo系溅射靶板的制造方法是将Mo系锭进行轧制而制造溅射靶的制造方法，其特征在于，由将所含的氧浓度控制在10质量ppm～1000质量ppm来制造Mo系锭的工序、将该Mo系锭加热并在600℃～950℃的轧制温度下进行轧制的工序构成。

主权项

一种Mo系溅射靶板的制造方法，其是由Mo系锭制造Mo系溅射靶板的方法，其特征在于，依次实施将含氧浓度控制在10质量ppm～1000质量ppm而制造Mo系锭的工序、将该Mo系锭加热并在600℃～950℃的轧制温度下进行轧制的工序，在所述轧制工序中，每一道次的压下率为50％以下；所述含氧浓度规定为在距离锭表面100μm以上的内部进行测定而得到的值。