研磨装置

摘要

提供一种能够抑制磨削液的飞散并且能够提高研磨效果的研磨装置。该研磨装置具备磨削液供给机构，空气供给机构，以及具有流通流路和空气混入部的喷出机构，流通流路具有流路直径形成为从磨削液的流入部朝向空气混入部其直径变小的锥状的流入流路，以及流路直径形成为从空气混入部朝向磨削液的喷出部其直径变大的锥状的喷出流路，空气混入部具有用于向压缩空气的流入部和流通流路排出该压缩空气的多个排出孔，以及相对于流通流路的喷出方向为锐角地与排出孔连通形成的空气流路，在喷出磨削液之际，使压缩空气混入通过了流入流路后的磨削液中，并通过喷出流路，从而在磨削液中产生旋流。

主权项

研磨装置，具备：供给含有研磨磨粒的磨削液的磨削液供给机构，供给压缩空气的空气供给机构，以及喷出机构，该喷出机构具有用于将从上述磨削液供给机构供给的上述磨削液向被研磨材料喷出的流通流路，和使从上述空气供给机构供给的上述压缩空气在上述流通流路内混入上述磨削液中的空气混入部，其特征在于，上述流通流路具有流路直径形成为从上述磨削液的流入部朝向上述空气混入部其直径变小的锥状的流入流路，以及流路直径形成为从上述空气混入部朝向上述磨削液的喷出部其直径变大的锥状的喷出流路，上述空气混入部具有用于向上述压缩空气的流入部和上述流通流路排出该压缩空气的多个排出孔，以及相对于上述流通流路的喷出方向为锐角地与上述排出孔连通形成的空气流路，在喷出上述磨削液之际，使上述压缩空气混入通过了上述流入流路后的上述磨削液中，并通过上述喷出流路，从而在上述磨削液中产生旋流。