| 发明名称 |
SYSTEM ZUR PLASMAUNTERSTÜTZTEN CHEMISCHEN AUFDAMPFUNG BEI NIEDRIGEN ENERGIEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT546824(T) |
申请公布日期 |
2012.03.15 |
| 申请号 |
AT20050739735T |
申请日期 |
2005.04.22 |
| 申请人 |
DICHROIC CELL S.R.L. |
发明人 |
VON KAENEL, HANS;HAID, REINHARD |
| 分类号 |
H01J37/32;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/503;C23C16/513 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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