半导体晶圆检测设备

摘要

本实用新型提供一种半导体晶圆检测设备，与晶圆盒开盒器配合使用，开盒器将晶圆盒打开，用机械手取出晶舟放入检测设备，或从检测设备取回晶舟，放回晶圆盒，检测设备包括：主体，其上具有固定平台；旋转平台，位于固定平台之上，承载晶舟并旋转；遮挡片，位于旋转平台的角上，随旋转平台一起运动；传感器，位于固定平台上，与遮挡片相配合，感测旋转平台是否旋转到位；复位模块，将未到位的旋转平台旋转到位；继电器，根据传感器的信号闭合或开启继电器，使机械手开关的电路导通或断开。本实用新型在检测设备与开盒器之间建立一种通讯机制，彼此形成互锁。不但确保了操作安全性，防止人为失误，还能避免晶圆从晶舟散落出来，导致晶圆碎片的隐患。

主权项

一种半导体晶圆检测设备，与晶圆盒开盒器配合使用，其特征在于，所述半导体晶圆检测设备包括：检测设备主体，其上具有固定平台；旋转平台，位于所述固定平台之上，承载晶舟并旋转；遮挡片，位于所述旋转平台的角上，跟随所述旋转平台一起运动；传感器，位于所述固定平台之上，与所述遮挡片相配合，感测所述旋转平台是否旋转到位；旋转平台复位模块，与所述旋转平台相连接，将没有旋转到位的所述旋转平台重新旋转到位；继电器，分别与所述传感器和所述开盒器的机械手开关相连接，根据所述传感器的信号闭合或者开启所述继电器，使所述机械手开关的电路导通或者断开。