一种全自动硅片插片机

摘要

本实用新型涉及一种全自动硅片插片机，包括机架和设置在机架上的插片机，插片机包括上料组件、输送组件和插片组件，上料组件连接输送组件，输送组件连接插片组件。本实用新型具有的有益效果：吸盘采用非接触吸盘，非接触吸盘的工作面积大，比现有的真空吸盘工作面积大4倍，并采用先进的电子压力开关，实现压力可调，所以不会多硅片产生隐印。硅片传输采用同步带，传输中两带线速度相同，硅片堵塞机率只有1/10000。

主权项

一种全自动硅片插片机，包括机架和设置在机架上的插片机，其特征在于，所述插片机包括上料组件、输送组件和插片组件，所述上料组件连接输送组件，所述输送组件连接插片组件。