传感器型真空计及使用传感器型真空计的单晶提升装置

摘要

本发明提供一种低成本的传感器型真空计，能够用单一的本体根据测定对象物内的气体(成分)来正确测定压力，适用于要正确测定多个气体的装置。其包括在测定对象物上可自由拆装的本体(1)，该本体上一体化组装有传感器部(2、22)、提供测定压力所需的电力的电源部(E)，处理来自传感器部的输出并指示压力的控制部(C)。在该控制部上，按多种气体的每种分别存储有将所述输出对应于压力的校正表，设置有选择要测定的特定种类的气体的输入部，切换到与已选择的气体相对应的校正表并处理来自传感器部的输出及指示压力。

主权项

一种传感器型真空计，为来自传感器部的输出根据测定对象物的气体可变动的传感器型真空计，其包括可在测定对象物上自由拆装的本体，该本体上一体化组装有传感器部、供给测定压力所需电力的电源部、处理所述传感器部的输出并指示压力的控制部，其特征在于构成如下：在所述控制部上，按多种气体的每种分别存储将所述输出对应于压力的校正表，并设置选择要测定的特定种类气体的输入部，切换到与已选择的气体相对应的校正表处理传感器部的输出并指示压力。