| 发明名称 | 显影工艺的检测版图以及显影工艺的检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种显影工艺的检测版图以及显影工艺的检测方法，该显影工艺的检测版图用于检测显影工艺的显影液流量，所述检测版图包括至少一组检测图案，所述检测图案包括多个线条图形。利用所述检测版图可快速、准确的检测出显影工艺的显影液流量是否符合工艺要求，显影设备无需处于维护状态即可进行检测，提高了设备的产能，并有利于提高工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102375350A | 申请公布日期 | 2012.03.14 |
| 申请号 | CN201010261631.0 | 申请日期 | 2010.08.24 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 张轲 |
| 分类号 | G03F7/30(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种显影工艺的检测版图，用于检测显影工艺的显影液流量，所述检测版图包括至少一组检测图案，所述检测图案包括多个线条图形。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||