高稳定性的光源系统及制造方法

摘要

本申请公开了高稳定性的光源系统及制造方法。提供了一种光源，具有光发射器和分束器，光发射器被构造以发射具有波长带中峰值波长的线性偏振光的光束，分束器具有第一光学表面，第一光学表面被构造以反射光束的第一部分并透射光束的第二部分，分束器具有位于分束器的第一光学表面上的光学涂层，第一光学表面被构造以限定入射面，其特征在于，光学涂层具有针对一系列入射角并针对波长段中的波长λ所给定的特征参数FTE和FTM，其中FTE被限定为偏振方向垂直于入射面的光波的功率透射与功率反射的比率，并且FTM被限定为偏振方向平行于入射面的光波的功率透射与功率反射的比率，并且参数FTE和FTM展示了以下性质：(dFTE/dλ＞0和dFTM/dλ＜0)或者(dFTE/dλ＜0和dFTM/dλ＞0)。

主权项

一种光源，具有光发射器和分束器，所述光发射器被构造以发射具有波长带中峰值波长的线性偏振光的光束，所述分束器具有第一光学表面，所述第一光学表面被构造以反射所述光束的第一部分并透射所述光束的第二部分，所述分束器具有位于所述分束器的所述第一光学表面上的光学涂层，所述第一光学表面被构造以限定入射面，其特征在于，所述光学涂层具有针对一系列入射角并针对所述波长段中的波长λ所给定的特征参数FTE和FTM，其中FTE被限定为偏振方向垂直于所述入射面的光波的功率透射与功率反射的比率，并且FTM被限定为偏振方向平行于所述入射面的光波的功率透射与功率反射的比率，并且所述参数FTE和FTM展示了以下性质：(dFTE/dλ＞0和dFTM/dλ＜0)或者(dFTE/dλ＜0和dFTM/dλ＞0)。