| 发明名称 | 基板用盒的载放台 | ||
| 摘要 | 一种基板用盒的载放台，用于降低基板用盒的振动。在底面具备多个梁、载放基板用盒的载放台主体上，安装多个具备粘弹性体的梁的支承台，通过支承台支持盒的底面。 | ||
| 申请公布号 | CN102372144A | 申请公布日期 | 2012.03.14 |
| 申请号 | CN201110165504.5 | 申请日期 | 2011.06.20 |
| 申请人 | 村田自动化机械有限公司 | 发明人 | 寺谷茂 |
| 分类号 | B65G1/04(2006.01)I | 主分类号 | B65G1/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 夏斌;陈萍 |
| 主权项 | 一种基板用盒的载放台，用于载放基板用盒，在底面具备多个梁，其特征在于，在载放台主体上安装有多个具备粘弹性体的、上述梁的支承台，通过上述支承台支持上述盒的底面。 | ||
| 地址 | 日本京都 | ||