搬运用机器人系统和搬运用机器人的控制方法

摘要

提供一种搬运用机器人系统和搬运用机器人的控制方法，即使在操作者不能靠近晶片搬运的示教位置的情况下也可以进行示教。一种搬运用机器人系统，具备：具有放置呈薄型形状的物体的放置部并搬运物体的机器人(1)；和控制机器人(1)的机器人控制器(9)，其具有：卡具(3)，装配在机器人的放置部上并具有摄像单元(4)，图像处理部(8)，处理通过摄像单元(4)拍摄的图像，上位控制部(10)，从上位控制机器人控制器(9)和图像处理部(8)。

主权项

一种搬运用机器人系统，具备：具有放置呈薄型形状的物体的放置部并搬运所述物体的设置于半导体制造装置内的机器人；和控制所述机器人的机器人控制器，其特征在于，具备：卡具，其取代所述物体而装配在所述机器人的放置部上并具有摄像单元和定位机构，该定位机构使该卡具被放置在放置部上时，总是朝向固定方向；图像处理部，其处理通过所述摄像单元拍摄的图像；上位控制部，其从上位控制所述机器人控制器和所述图像处理部，所述摄像单元配置在圆形状的卡具的中心，并拍摄包含特征性部位的图像。