发明名称 SILICON CARBIDE SUBSTRATE PRODUCTION METHOD AND SILICON CARBIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20120022964(A) 申请公布日期 2012.03.12
申请号 KR20117027304 申请日期 2010.09.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 HARADA SHIN;SASAKI MAKOTO;NISHIGUCHI TARO;TAMASO HIDETO;NAMIKAWA YASUO
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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