磁控溅镀阴极机构

摘要

一种磁控溅镀阴极机构，包括一背板、一靶材、至少一导磁零件及至少一磁石。背板具有相对之一第一面及一第二面，第一面具有至少一定位凹槽，且靶材具有相对之一轰击面及一非轰击面，非轰击面贴靠于背板之第一面，且非轰击面具有至少一结合凹槽，而导磁零件设置于背板及靶材之间，并具有一结合部及一定位部，结合部位于靶材之结合凹槽内，且定位部容置于背板之定位凹槽，磁石设于背板之第二面，且导磁零件对应吸附于磁石，以供靶材固定于背板。