MODULAR SCANNER, AND METHOD FOR OPERATING SAME

摘要

Es wird ein Prober zum Prüfen und Testen von elektronischen Halbleiterbauelementen beschrieben, der zumindest zwei Prüfeinheiten (9, 10) umfasst, die jeweils mit Chuck (18), Sonden (26) und Positionierungseinheit (23) ausgerüstet sind und denen jeweils eine Maschinen- (5, 6) und eine Prozesssteuerung (3, 4) zugeordnet sind. Der Prober umfasst weiter eine Beladevorrichtung (16) zum manuellen Beladen zumindest einer und eine Ladeeinheit (11) zum automatischen Beladen beider Prüfeinheiten (9, 10), eine Benutzeroberfläche (7, 8), eine Modulsteuerung (2) zum Steuern der Prozess- und/oder der Maschinensteuerungen (3, 4, 5, 6) und der Ladeeinheit (11). Mittels einer Schaltvorrichtung (1) des Probers ist die Benutzeroberfläche (7, 8) wahlweise mit zumindest einer der Prozesssteuerungen (3, 4) oder der Modulsteuerung (2) verbindbar. Es wird auch ein Verfahren zum wahlweisen voll- oder halbautomatischen Betrieb des Probers beschrieben, der insbesondere durch die Art der Beladung der Prüfeinheiten (9, 10) bestimmt wird.