一种举升装置及应用该举升装置的等离子体处理设备

摘要

本发明提供一种举升装置，用于在半导体加工/处理过程中携带半导体器件运动，其包括压力缸、动力传递部分和托举部分，以及设置在所述托举部分和动力传递部分之间或者设置在所述动力传递部分和压力缸之间的水平调节部分。该水平调节部分借助弹性部件和调节部实现对举升装置的水平度的快速调节。另外，本发明还提供一种应用上述举升装置的等离子体处理设备。本发明提供的举升装置及等离子体处理设备具有结构简单，操作方便快捷等的优点。

主权项

一种举升装置，用于在半导体加工/处理过程中携带半导体器件运动，其包括压力缸、动力传递部分和托举部分，其中所述压力缸连接所述动力传递部分，用于向所述动力传递部分输出运动机械能；所述动力传递部分设置在所述压力缸和托举部分之间，用于将来自所述压力缸的运动机械能传递到所述托举部分；所述托举部分在来自所述动力传递部分的运动机械能的作用下携带半导体器件运动；其特征在于：所述举升装置还包括设置在所述托举部分和动力传递部分之间或者设置在所述动力传递部分和压力缸之间的水平调节部分，所述水平调节部分包括彼此靠近设置的基板和调节板，在所述基板和调节板上至少设定三个调节位置，在每一个调节位置均设置贯通所述基板和调节板的调节部安装孔，并且临近所述调节部安装孔而在所述调节板和基板之间设置弹性部件，调节部贯穿所述调节部安装孔而将所述调节板经由弹性部件与所述基板连接在一起，通过调节所述调节部而使弹性部件伸展或压缩，从而调整调节板与基板之间的距离，进而调节所述托举部分顶部的水平状态。