PRESSURE CONTROL VALVE DRIVING CIRCUIT FOR PRESSURE-TYPE FLOW RATE CONTROL APPARATUS WITH FLOW RATE SELF-DIAGNOSIS FUNCTION
摘要
<p>본 발명은 유량 자기 진단 기능을 구비한 압력식 유량 제어 장치의 압력 제어 밸브용 피에조 소자 구동 회로(5)에 있어서 제어부의 구동 회로와 병렬로 제어 밸브를 고속 폐지시키기 위한 폐지 회로(8)를 설치하고, 유량 자기 진단시에 있어서의 밸브의 폐지 시간 지연을 적게 함으로써 유량 자기 진단시에 고정밀도의 진단 결과가 얻어지도록 한다.</p>
