发明名称 一种高效GaN基半导体发光二极管
摘要 本发明公开了一种能够增强高注入电流下发光效率的GaN基半导体发光二极管。本发明由衬底、N型掺杂层、多量子阱发光层、P型掺杂层和电极组成,其中多量子阱发光层中靠近P型AlGaN电子阻挡层的最后一个势垒的带隙沿生长方向线性减小,其材料为此多量子阱结构中其它势垒材料与InN或GaN形成的合金,并且InN或GaN在合金中的含量沿生长方向线性增加。本发明结构简单、易操作,可以有效减少漏电流,增强空穴的注入效率,提高量子阱中电子和空穴的浓度以及均匀分布性,从而大幅提高其在高注入电流下的发光效率,作为高亮度、高功率器件结构在照明领域具有广泛的应用前景。
申请公布号 CN102368524A 申请公布日期 2012.03.07
申请号 CN201110316113.9 申请日期 2011.10.18
申请人 中国科学院上海技术物理研究所;蓝雨软件技术开发(上海)有限公司 发明人 陆卫;夏长生;王少伟;张波;甄红楼;王兴军;陈效双
分类号 H01L33/06(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I 主分类号 H01L33/06(2010.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 郭英
主权项 一种高效GaN基半导体发光二极管,它包括衬底、N型掺杂层、多量子阱发光层、P型掺杂层和电极,其特征在于:所述的发光二极管的结构为:在衬底上依次为N型掺杂层、多量子阱发光层和P型掺杂层,电极分别制作在N型掺杂层和P型掺杂层上;所述的衬底材料为蓝宝石、硅或碳化硅;所述N型掺杂层为GaN、AlGaN或InGaN的硅掺杂的GaN基半导体材料,掺杂浓度为1×1017~1×1020cm‑3;所述多量子阱发光层为InGaN/GaN多量子阱结构、或InGaN/InGaN多量子阱结构、或GaN/AlGaN多量子阱结构,或AlGaN/AlGaN多量子阱结构;多量子阱结构中靠近P型掺杂层中AlGaN电子阻挡层的最后一个势垒的带隙沿生长方向线性减小,其材料为此多量子阱结构中其它势垒材料与InN或GaN形成的合金,且InN或GaN在合金中的含量沿生长方向线性增加;所述的P型掺杂层为镁掺杂的AlGaN电子阻挡层和GaN、AlGaN或InGaN的GaN基半导体材料覆盖层构成,掺杂浓度为1×1017~1×1020cm‑3;所述的电极材料为Au,Ag,Cu,Al,Pt,Zn,Ti,Sn或它们形成的合金。
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