| 摘要 |
<p>본 발명은 균일한 면 방위를 갖는 복수의 다이아몬드 단결정 기판을 나란히 배치하고, 기상 합성법으로 상기 다이아몬드 단결정 기판 상부에 다이아몬드 단결정을 성장시킴으로써 전면 일체화하여 제작하며, 하나의 다이아몬드 단결정 기판을 제외한 상기 복수의 다이아몬드 단결정 기판 각각의 주면 (main plane)의 {100} 면으로부터의 면 방위 이탈이 1도 미만이고, 상기 제외된 하나의 다이아몬드 단결정 기판의 주면의 {100} 면으로부터의 면 방위 이탈이 1 내지 8도이고, 다이아몬드 단결정 기판을 나란히 배치할 때 상기 하나의 다이아몬드 단결정 기판을 최외곽 외주부에 배치하고, 또한 상기 하나의 기판의 주면에서의 <100> 방향이 배치된 기판의 외곽 외주부를 향하도록 배치하고, 이 후 상기 하나의 다이아몬드 단결정 기판으로부터 성장하는 다이아몬드 단결정이 다른 기판 상에서 성장하는 다이아몬드 단결정을 덮도록 다이아몬드 단결정을 기상 합성법으로 성장시킴으로써 전면 일체화시킨 다이아몬드 단결정 복합 기판에 관한 것이다.</p> |
