| 摘要 |
Flächensauggreifer mit Grundkörper (4) Abdeckblech (2) Schrauben (7) und Stiften (8), Distanzblech (3), Membranblech (5) und Befestigungsblech (1) verschraubt (7) verstiftet (8) und verklebt, dass ein Gasaustausch zur jeweiligen Nachbarbohrung nicht stattfinden kann mit Weichschicht (6) als Abdichtung, dadurch gekennzeichnet, dass die ausgelaserte Form im Membranblech (5) eine schwingende Membran (10) bildet, die unter Einwirkung des Volumenstroms die jeweilige Bohrung im Grundkörper (4) verschließt und somit die Entweichung des Vakuums verhindert, jedoch bei Verschließung des Ausgangs der Bohrung das Vakuum freigibt.
|
