| 发明名称 |
INSPECTING METHOD FOR SAMPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01307645(A) |
申请公布日期 |
1989.12.12 |
| 申请号 |
JP19880138102 |
申请日期 |
1988.06.03 |
| 申请人 |
DAINIPPON PRINTING CO LTD |
发明人 |
WATANABE KAZUO |
| 分类号 |
G01N21/88;G01M11/00;G01N21/17;G01N21/59;G01N21/94;H01J9/14;H01J9/42;H01L21/66;H04N7/18 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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