| 摘要 |
<p>본 발명은 3차원 표면 형상 측정부가 구비되는 압흔 검사시스템에 관한 것으로, 구체적으로는 압흔의 표면형상을 3D 표면 형상 광학계를 이용하여 보다 정확하게 검사하고, 이에 따른 압흔의 정확한 높이 및 크기를 측정하여 압흔 수량 및 압흔 분포로써 제품의 양부를 판별할 수 있는 3차원 표면 형상 측정부가 구비되는 압흔 검사시스템에 관한 것이다. 본 발명은 검사대상물인 LCD 글라스에 TCP 또는 COG인 LCD 전극부가 안치되며 구동수단에 의해 이동하는 검사대, 상기 검사대의 상부 또는 하부에 구비되며, 본딩(boinding) 공정에서 압력 받은 ACF의 도전볼이 상기 LCD전극부와 LCD 글라스를 가압하게 되고, 그로 인하여 LCD전극부가 LCD 글라스로 볼록하게 돌출되며, 그 돌출된 크기를 측정하기 위한 3차원 표면 형상 측정용 광학계와, 상기 3차원 표면 형상 측정용 광학계를 통하여 측정된 정보를 영상화하는 카메라 및 상기 카메라를 통해 입력 받은 영상을 연산하여 처리하는 메인 콘트롤러를 포함한다. 본 발명의 3차원 표면 형상 측정부가 구비되는 압흔 검사시스템에 의하면, 정확한 압흔의 크기 및 높이를 측정하여 압흔강도를 정확히 분석할 수 있으며, 정확한 압흔강도를 측정하여 본딩(bonding) 공정으로 피드백하여 본딩 강도를 적절하게 조정하여 생산공정의 불량률을 최소화 할 수 있는 효과가 있다. 또한, 정확하게 압흔을 구분하여 찾아진 압흔 수량 및 압흔분포로써 제품의 양부를 판별할 수 있는 큰 효과가 있는 것이다.</p> |
