In-Ga-Zn TYPE OXIDE SPUTTERING TARGET

摘要

하기에 나타내는 산화물 A와, 빅스바이트형의 결정 구조를 갖는 산화인듐(InO)을 함유하는 스퍼터링 타겟: 산화물 A: 인듐 원소(In), 갈륨 원소(Ga) 및 아연 원소(Zn)를 포함하고, X선 회절 측정(Cukα선)에 의해 입사각(2θ)이 7.0°～8.4°, 30.6°～32.0°, 33.8°～35.8°, 53.5°～56.5° 및 56.5°～59.5°인 각 위치에서 회절 피크가 관측되는 산화물.