发明名称 CLEANING FORMULATION FOR REMOVING RESIDUES ON SURFACES
摘要 This disclosure relates to compositions that can be used to remove residues from a semiconductor substrate.
申请公布号 US2012048295(A1) 申请公布日期 2012.03.01
申请号 US201013254944 申请日期 2010.03.09
申请人 DU BING;WOJTCZAK WILLIAM A.;FICNER STANLEY A.;FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS U.S.A., INC. 发明人 DU BING;WOJTCZAK WILLIAM A.;FICNER STANLEY A.
分类号 C23G1/02;C11D7/60 主分类号 C23G1/02
代理机构 代理人
主权项
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