发明名称 一种测量晶体硅太阳能电池表面接触电阻率的方法
摘要 本发明公开了一种测量晶体硅太阳能电池表面接触电阻率的方法,具体包括以下步骤:(1)由普通工艺完成晶体硅太阳能电池,在该工艺中使用统一型号网板;(2)将所得电池沿主栅方向从中取出一长条状结构作为电池测试样品,该电池测试样品表面具有数条栅线;(3)各栅线依次等间隔并列排布形成测试区域,由电池标准电流电压测试得到的特性参数计算单条栅线的工作电流I。,采用电流源表设定恒定输出电流I。,再依次测量首条栅线与其余栅线在恒定输出电流I。下的电压Vn;(4)根据栅线接触电阻rC和末端接触电阻RE,计算迁移长度LT和栅线下扩散层薄层电阻R’s,最后得出晶体硅太阳能电池表面接触电阻率ρC。本发明使用普通工艺制作的电池作为测量样品,无需另外制作网板,降低了电池制作的工艺难度和测量成本。
申请公布号 CN101859720B 申请公布日期 2012.02.29
申请号 CN201010152832.7 申请日期 2010.04.15
申请人 中山大学 发明人 沈辉;朱薇桦
分类号 H01L21/66(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;G01R27/14(2006.01)I 主分类号 H01L21/66(2006.01)I
代理机构 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人 李海波
主权项 一种测量晶体硅太阳能电池表面接触电阻率的方法,其特征在于具体包括以下步骤:(1)采用普通工艺制作完成晶体硅太阳能电池,在该制作工艺中使用统一型号网板以在电池表面形成等间隔栅线;(2)将步骤(1)得到的电池沿主栅方向从中取出一长条状结构作为电池测试样品,电池上取出该测试样品的部位为中空,所述电池测试样品表面具有数条栅线;(3)各栅线依次等间隔并列排布形成测试区域,由电池标准电流电压测试得到的特性参数计算单条栅线的工作电流Io,采用电流源表设定恒定输出电流Io,再依次测量首条栅线与其余栅线在恒定输出电流Io下的电压Vn;其中,单条栅线的工作电流Io通过以下公式计算:Io=(IMP/AC)×L×wIMP‑电池的最大功率点电流AC‑单晶硅片面积L、w‑电池测试样品的长、宽;(4)将步骤(3)得到的各栅线电压Vn依次根据各栅线序数n变化绘制成曲线Vn=A+Bn;A‑拟合直线截距B‑拟合直线斜率;(5)根据曲线拟合直线截距A,计算得到所述测试区域的栅线接触电阻rC; <mrow> <msub> <mi>V</mi> <mi>n</mi> </msub> <mo>=</mo> <msub> <mi>I</mi> <mn>0</mn> </msub> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <msub> <mi>r</mi> <mi>C</mi> </msub> <mo>+</mo> <mfrac> <mrow> <mi>nL</mi> <msub> <mi>R</mi> <mi>S</mi> </msub> </mrow> <mi>w</mi> </mfrac> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> <mrow> <msub> <mi>r</mi> <mi>C</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>A</mi> <mrow> <mn>2</mn> <mi>l</mi> </mrow> </mfrac> </mrow>n‑栅线序号L‑两相邻栅线之间的距离W‑栅线长度rC‑测试区域的栅线接触电阻RS‑扩散层方块电阻Io‑恒定输出电流;(6)测量末端接触电阻RE,分别列出关于栅线接触电阻rC和末端接触电阻RE的方程式,计算得出迁移长度LT和栅线下扩散层薄层电阻R’S;RE=VE/IEVE‑次相邻与相邻栅线间的电压IE‑恒定电流;rC=(LT/w)R′S coth(d/LT) <mrow> <msub> <mi>R</mi> <mi>E</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <msup> <mi>R</mi> <mo>&prime;</mo> </msup> <mi>S</mi> </msub> <msub> <mi>L</mi> <mi>T</mi> </msub> </mrow> <mi>w</mi> </mfrac> <mo>&CenterDot;</mo> <mfrac> <mn>1</mn> <mrow> <mi>sinh</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>d</mi> <mo>/</mo> <msub> <mi>L</mi> <mi>T</mi> </msub> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> </mfrac> </mrow>w‑栅线长度d‑栅线宽度;(7)根据步骤(6)得到的计算结果,最后计算得出晶体硅太阳能电池表面接触电阻率ρC, <mrow> <msub> <mi>&rho;</mi> <mi>C</mi> </msub> <mo>=</mo> <msubsup> <mi>L</mi> <mi>T</mi> <mn>2</mn> </msubsup> <msubsup> <mi>R</mi> <mi>S</mi> <mo>&prime;</mo> </msubsup> <mo>.</mo> </mrow>
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