一种改进的800型硅单晶炉热场系统

摘要

本发明涉及一种硅单晶炉热场系统的改进方法，改进设计针对目前普遍使用的硅单晶炉且在维持原炉腔结构下进行，包括：加大保温筒、加热器的直径，加大坩埚的直径和高度，加大导流筒的直径和高度，并相应地加大埚托直径和厚度，调整托杆的尺寸以及石墨电极的直径和高度；保温层采用碳纤维固体毡并分设为上保温套、中保温套和下保温套；在保温盖上面设置挡圈。可实现硅单晶炉投料量增加，所生产的单晶硅棒直径加大和/或长度增长，从而提高成品太阳能电池的效能，提高硅材料利用率，降低单位能耗，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

1.一种改进的800型硅单晶炉热场系统，所述热场系统位于硅单晶炉炉腔内，包括石墨电极、加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层、埚托和托杆；其特征在于，所述的改进在维持所述硅单晶炉炉腔结构下进行，包括：(1)所述保温筒由上保温筒、中保温筒和下保温筒组成，上保温筒的外径和高度为688mm×195mm，中保温筒的外径和高度为688mm×470mm，下保温筒的外径和高度为688mm×255mm，当所述保温筒外侧设置保温层后，所述保温层与所述硅单晶炉炉腔内壁间留有一定间隙，间隙小但不相接触，使热场系统具有良好的保温性能；(2)所述加热器的外径和高度为628mm×600mm，使其与所述保温筒相适应；(3)所述坩埚的外径和高度为548mm×364mm，使其与所述加热器相适应，并所述坩埚的上端面设置于所述加热器的上端面以下；(4)所述导流筒由内导流筒和外导流筒组成，内导流筒的上端内径432mm、上端外沿直径500mm、下端内径278mm、下端外径300mm、高度349mm，外导流筒的上端内径456mm、上端外沿直径500mm、下端内径260mm、下端外径325.5mm、高度365mm，并设置所述导流筒的下端面恰好在所述坩埚的上端面以下；(5)所述埚托的外径和高度为474mm×89.6mm，使其与所述坩埚相适应；(6)所述托杆的尺寸作相应的调整；(7)所述石墨电极的外径和高度相应地调整为80mm×107mm。