发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06252358(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930035545 申请日期 1993.02.24
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TANAKA NOBUYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/266;H01L21/28;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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