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发明名称 FLEXIBLE VIBRATORY MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICE
摘要
申请公布号 EP1651968(A4) 申请公布日期 2012.02.29
申请号 EP20040753710 申请日期 2004.05.28
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 CHIOU, JEN-HUANG ALBERT
分类号 G01C19/56;G01B;G01C19/00;G01P3/44;G01P9/00;G01P9/04;G01P15/08;H04N5/225 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人
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