СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ НАНОКЛАСТЕРОВ СИЛИЦИДОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ

摘要

Способ получения ферромагнитных нанокластеров силицидов на поверхности кремния методом локализованного газового разряда Аr, включающий плазмохимический синтез самоорганизованных нанокластеров переходных металлов, обладающих магнитными свойствами, путем импульсного формирования встречных потоков возбужденных атомов переходного металла и полупроводника на характеристических расстояниях, определяемых длиной свободного пробега реагирующих атомов и плазмы Аr, с последующим осаждением на полупроводниковую подложку, причем давление в газоразрядной камере Р=0,15 атм., падение напряжения на разряде 120 В, время осаждения 20 с.