发明名称 THE METHOD FOR MANUFACTURING MEASURABLE VIA TEST PATTERNS AND CHARACTERIZATION OF VIA IN MULTI-LAYERED IC PACKAGE
摘要
申请公布号 KR101111444(B1) 申请公布日期 2012.02.24
申请号 KR20090099769 申请日期 2009.10.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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