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发明名称 CLEANING COMPOSITION AND METHOD OF FORMING SEMICONDUCTOR PATTERN USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101114502(B1) 申请公布日期 2012.02.24
申请号 KR20100061120 申请日期 2010.06.28
申请人 发明人
分类号 C11D7/26;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/306 主分类号 C11D7/26
代理机构 代理人
主权项
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