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发明名称 DEVICE FOR GENERATING UV LIGHT, COMPRISING A GAS-FILLED PLASMA CHAMBER
摘要 The invention relates to a plasma chamber (1) for generating UV light and/or VUV light, having simple construction and allowing directed emission of UV light.
申请公布号 WO2011128443(A3) 申请公布日期 2012.02.23
申请号 WO2011EP56050 申请日期 2011.04.15
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V.;EGNER, SIEGFRIED;LOHNER, ALEXANDER;JAVAID, ALI IMRAN;GILLNER, ARNOLD;NADRAG, WALTER;SICO TECHNOLOGY GMBH 发明人 EGNER, SIEGFRIED;LOHNER, ALEXANDER;JAVAID, ALI IMRAN;GILLNER, ARNOLD;NADRAG, WALTER
分类号 H01J65/04;H01J5/04;H01J5/24 主分类号 H01J65/04
代理机构 代理人
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