微波频谱扫描镀膜玻璃在线测厚装置

摘要

本发明微波频谱扫描镀膜玻璃在线测厚装置，包括测试部、用于将测试部移动到预定检测位置的伺服控制部，其中，测试部包括扫频发射器和射频接收器，扫频发射器、射频接收器分别设置在待测玻璃表面的两侧，扫频发射器发射的入射微波穿透待测玻璃后成为透射微波，射频接收器接收透射微波，以得到的透射微波的性能参数来计算出玻璃厚度。本发明采用微波测量玻璃镜厚度来解决现有技术存在的问题，同时改被动的厚度定量测量为主动性的频率读取，并可间接检验所镀膜的反射效率及均匀性。

主权项

微波频谱扫描镀膜玻璃在线测厚装置，其特征在于，该装置包括测试部、用于将测试部移动到预定检测位置的伺服控制部，其中，测试部包括扫频发射器和射频接收器，扫频发射器、射频接收器分别设置在待测玻璃表面的两侧，扫频发射器发射的入射微波穿透待测玻璃后成为透射微波，射频接收器接收透射微波，以得到的透射微波的性能参数来计算出玻璃厚度。