发明名称 METHOD OF PATTERNING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND METHOD OF FORMING SIO2 PATTERN
摘要
申请公布号 JPH11251285(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980053718 申请日期 1998.03.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KOBAYASHI MASAO
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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