成膜测机托盘

摘要

一种成膜测机托盘，包括具有第一侧及第二侧的盘体，第一侧处具有与其轴向平行并朝下的第一垂直缺口，第二侧处具有其轴向平行并朝上的第二垂直缺口，盘体更具有生产置放区及测试置放区，生产置放区邻近第二侧设置，并设置有具有预定尺寸之至少一第一凹槽以供相对第一凹槽之尺寸与数量的太阳能薄膜基板容置，测试置放区邻近第一侧设置，并设置有相对应第一凹槽数量的至少一第二凹槽以供具有与太阳能薄膜基板相同之尺寸基板容置；藉此直接对经裁切之尺寸基板进行接触性检测，避免破坏太阳能薄膜基板及影响制程良率。