摘要 |
一种雷射显微摘取系统的电控平台,包括一基板、一载物台、一水平位移驱动机构、一垂置位移驱动机构及一光纤探针架设单元及一电子单元。载物台设置于基板上,并具有一奈米位移控制器、一置放部及一中空部。置放部系位于中空部之内。奈米位移控制器连接置放部。水平位移驱动机构设置于基板上,适于驱动载物台作一水平方向的位移至微米级。垂置位移驱动机构设置于基板上,以驱动光纤探针架设单元作一垂直方向的位移至微米级。光纤探针架设单元提供一架设孔,位于载物台之置放部之上方。电子单元电性连接于奈米位移控制器及水平位移驱动机构。 |