| 主权项 |
1.一种侦测酸洗槽之加热器破裂的方法,至少包含:将一加热丝放置于该加热器之中,其中该加热器是一中空的石英套管,该石英套管具有两个端点,在该石英套管之内放置一加热丝,从该石英套管的一端伸至另外一端;将一水气侦测元件放置于该加热器之中,其中该水气侦测元件是置放于该石英套管之内的管壁之上;将该加热器放置于该酸洗槽之酸液中,其中该加热器的一部份伸入于该酸液中,该加热器的一部份伸出于该酸液之外;使该加热丝发出热能,对该酸洗槽之该酸液进行加温;以及利用该水气侦测元件,侦测进入该加热器的该中空石英套管的水气,了解该加热器的该中空石英套管是否产生缝隙。2.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该酸液是NH4OH、H2O2与H2O的混合溶液。3.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该加热器为一石英套管所组成,具有一封闭端与一开口端,该石英套管的该封闭端伸入该酸液之中,该加热器的该开口端则用来伸入该加热丝,并伸至该封闭端为止,使得该石英套管套住该加热丝。4.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该水气侦测元件是装有化学药品的管子,当遇到水气时会改变颜色,用以辨视水气是否进入该加热器之中。5.如申请专利范围第4项所述之方法,其中该化学药品系选自无水硫酸铜粉末与蓝色氯化亚钴粉末所组成群组的其中之一。6.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该水气侦测元件为电子元件,对该加热器的该石英套管之中的湿度进行监测。7.一种侦测酸洗槽之加热器破裂的装置,至少包含:一加热丝,放置于该加热器之中,其中该酸洗槽装满酸液,该加热器对该酸液进行加热,该加热器是一中空的石英套管,该石英套管具有两个端点,在该石英套管之内放置一加热丝,从该石英套管的一端伸至另外一端,该加热器的一部份伸入于该酸液中,该加热器的一部份伸出于该酸液之外;以及一水气侦测元件,置放于该石英套管之内的管壁之上,侦测进入该加热器的该中空石英套管的水气,了解该加热器的该中空石英套管是否产生缝隙。8.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该酸液是NH4OH、H2O2与H2O的混合溶液。9.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该加热器为一端密闭的石英套管所组成,该加热器的密闭端伸入酸槽之中,该加热器的另一端则用来伸入该加热丝,形成该加热丝被该石英套管所套住。10.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该水气侦测元件是装有化学药品的管子,当遇到水气时会改变颜色,用以辨视水气是否进入该加热器之中。11.如申请专利范围第10项所述之方法,其中该化学药品系选自无水硫酸铜与蓝色氯化亚钴所组成群组的其中之一。12.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该水气侦测元件为电子元件,对该加热器的该石英套管之中的湿度进行监测。13.一种侦测酸洗槽之加热器破裂的装置,至少包含:一加热丝,放置于该加热器之中,对该酸液进行加热,其中该酸洗槽装满酸液,该加热器的一部份伸入于该酸液中,该加热器的一部份伸出于该酸液之外,该加热器为一端密闭的石英套管所组成,该加热器的密闭端伸入酸槽之中,该加热器的另一端则用来伸入该加热丝,形成该加热丝被该石英套管所套住,该加热丝放置在该石英套管之内,从该石英套管的该开口端伸至该封闭端;以及一水气侦测元件,置放于该石英套管之内的管壁之上,侦测进入该加热器的该中空石英套管的水气,了解该加热器的该石英套管是否产生缝隙。14.如申请专利范围第13项所述之方法,其中该酸液是NH4OH、H2O2与H2O的混合溶液。15.如申请专利范围第13项所述之方法,其中该水气侦测元件是装有化学药品的管子,当遇到水气时会改变颜色,用以辨视水气是否进入该加热器之中。16.如申请专利范围第15项所述之方法,其中该化学药品系选自无水硫酸铜与蓝色氯化亚钴所组成群组的其中之一。17.如申请专利范围第13项所述之方法,其中该水气侦测元件为电子元件,对该加热器的该石英套管之中的湿度进行监测。图式简单说明:第一图系显示习知技术中酸洗槽与加热器之结构剖面示意图,说明加热器浸入酸洗槽的酸液的情况;第二图系显示本发明中在酸洗槽之加热器之中,加装水气侦测元件的剖面示意图,以侦测是否有水气进入加热器之中,判断加热器的管壁是否破裂;以及第三图系显示本发明中在酸洗槽之加热器之中,水气侦测元件的装设位置,将电子侦测元件放置于加热器的尾端,更易于侦测到加热器之中水气的变化。 |
