发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkristalls
摘要 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkristalls nach dem FZ-Verfahren, das mindestens umfasst: einen Schritt des Schmelzens und Bindens eines Halbleiterblocks, der als Rohmaterial dient, an einen Keimkristall; einen Schritt des Wachsens des Halbleiterblocks auf der kristallisierten Seite mit einer Erhöhung von dessen Durchmesser auf einen gewünschten Wert, um einen Kegelbereich zu bilden; einen Schritt des Wachsens des Halbleiterblocks auf der kristallisierten Seite mit dem Regulieren von dessen Durchmesser, so dass dieser einem gewünschten Wert entspricht, um einen geraden Hauptbereich zu bilden; und einen Schritt des Beendens der Zufuhr des Rohmaterials und der Verringerung eines Durchmessers des Halbleiterblocks auf der kristallisierten Seite, um den Halbleiterblock auf der kristallisierten Seite von einem Halbleiterblock auf der geschmolzenen Seite zu trennen, wobei ein Schritt des automatischen Regulierens der Erhöhung oder Verringerung eines Durchmessers des Halbleiterblocks auf der kristallisierten Seite mit Zufuhr des Rohmaterials zumindest im Schritt der Bildung eines geraden...
申请公布号 DE102006052961(B4) 申请公布日期 2012.02.16
申请号 DE200610052961 申请日期 2006.11.09
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 SUZUKI, SATOSHI;NIGORIKAWA, MASAHIKO
分类号 C30B13/30;C30B29/06 主分类号 C30B13/30
代理机构 代理人
主权项
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