基于反射镜平动的超高频响高灵敏度光束偏转控制装置

摘要

基于反射镜平动的超高频响高灵敏度光束偏转控制装置属于光束控制设备；该装置由正透镜的前置透镜、x方向平移镜组、y方向平移镜组、准直正透镜或准直负透镜、计算机控制系统和压电陶瓷驱动源装配构成，x方向平移镜组包括第一固定反射镜、第一平动反射镜、第一压电陶瓷驱动器及压电陶瓷驱动源，第二固定反射镜、第二平动反射镜、第二压电陶瓷驱动器及压电陶瓷驱动源构成y方向平移镜组，准直正透镜的焦面与光束经前置透镜后的聚焦点所在平面重合，准直负透镜的虚焦面与光束经前置透镜后的聚焦点所在平面重合，均构成无焦系统；本装置无机械传动损耗，具有超高频率响应特性、高角偏转灵敏度的特点。

主权项

一种基于反射镜平动的超高频响高灵敏度光束偏转控制装置，其特征在于：在正透镜的前置透镜(1)出射光路上倾斜配置第一平动反射镜(10)，所述的第一平动反射镜(10)固装在第一压电陶瓷驱动器(9)位移输出端上，在第一平动反射镜(10)反射光路上与其相互平行地配置第一固定反射镜(2)，导线将第一压电陶瓷驱动器(9)与压电陶瓷驱动源(8)连通，至此由第一固定反射镜(2)、压电陶瓷驱动源(8)、第一压电陶瓷驱动器(9)及第一平动反射镜(10)构成x方向平移镜组；在第一固定反射镜(2)反射光路上配置第二平动反射镜(4)，所述的第二平动反射镜(4)固装在第二压电陶瓷驱动器(5)位移输出端上，在第二平动反射镜(4)反射光路上与其相互平行地配置第二固定反射镜(3)，导线将第二压电陶瓷驱动器(5)与压电陶瓷驱动源(8)连通，至此由第二固定反射镜(3)、第二平动反射镜(4)、第二压电陶瓷驱动器(5)及压电陶瓷驱动源(8)构成y方向平移镜组；在第二固定反射镜(3)反射光路上配置准直正透镜或准直负透镜(6)；导线将压电陶瓷驱动源(8)与计算机控制系统(7)连通；所述准直正透镜(6)的焦面与光束经前置透镜(1)后的聚焦点所在平面重合，两镜组合构成无焦系统；所述准直负透镜(6)的虚焦面与光束经前置透镜(1)后的聚焦点所在平面重合，两镜组合构成无焦系统。