阻抗匹配系统和阻抗匹配装置

摘要

本发明实施例公开了一种阻抗匹配系统和阻抗匹配装置。其中，一种阻抗匹配系统，包括：第一阻抗电路、第二阻抗电路和阻抗匹配装置，阻抗匹配装置包括：基准阻抗匹配子单元、可调基波调谐电路子单元和可调N次谐波调谐电路子单元，N为大于1的自然数；基准阻抗匹配子单元和可调基波阻抗匹配子单元用于匹配第一阻抗电路和第二阻抗电路之间的基波阻抗；可调N次谐波调谐电路子单元用于匹配第一阻抗电路和第二阻抗电路之间的N次谐波阻抗。本发明实施例的技术方案，有利于实现对基波阻抗和谐波阻抗的分别匹配，简化电路阻抗匹配的调试复杂度。

主权项

一种阻抗匹配系统，其特征在于，包括：第一阻抗电路、第二阻抗电路和阻抗匹配装置，所述阻抗匹配装置包括：基准阻抗匹配子单元、可调基波调谐电路子单元和可调N次谐波调谐电路子单元，所述N为大于1的自然数；所述基准阻抗匹配子单元串联连接于所述第一阻抗电路和第二阻抗电路之间；所述可调基波调谐电路子单元和可调N次谐波调谐电路子单元的一端分别接地，且所述可调基波调谐电路子单元和可调N次谐波调谐电路子单元串联和/或并联连接后，连接于所述基准阻抗匹配子单元的一端；其中，所述基准阻抗匹配子单元和可调基波阻抗匹配子单元用于匹配所述第一阻抗电路和第二阻抗电路之间的基波阻抗；所述可调N次谐波调谐电路子单元用于匹配所述第一阻抗电路和第二阻抗电路之间的N次谐波阻抗。