发明名称 干涉滤光器、光模块以及分析装置
摘要 本发明提供了干涉滤光器、光模块和分析装置。该干涉滤光器的特征在于,该干涉滤光器的固定反射镜以及可动反射镜的合金膜是含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜或是含有银(Ag)、铋(Bi)以及铷(Nd)的Ag-Bi-Nd合金膜。
申请公布号 CN102346271A 申请公布日期 2012.02.08
申请号 CN201110203270.9 申请日期 2011.07.20
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 新东晋;北原浩司
分类号 G02B5/28(2006.01)I;G01J1/04(2006.01)I 主分类号 G02B5/28(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 一种干涉滤光器,其特征在于,具备隔开间隙相对的两个反射膜,所述反射膜包括合金膜,所述合金膜是含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag Sm Cu合金膜。
地址 日本东京