电子电路的三维检测设备

摘要

本发明涉及一种电子电路的三维检测设备。一种集成电路等的光学检测设备包括：拍摄系统，所述拍摄系统位于由第一方向和第二方向限定的平面中的场景的上方，所述拍摄系统包括多个数字摄像机，每一数字摄像机包括正交阵列的像素，所有摄像机的各自光轴相对于与所述第一方向和第二方向垂直的第三方向倾斜第一角度；以及具有确定图样的两个投影仪，这些图样使得由所述投影仪中的每一投影仪投影的两条直线在由所述第一方向和所述第二方向限定的所述平面中对齐并且与将所述两个投影仪的光学中心互连的直线共面。

主权项

一种集成电路等的光学检测设备，所述设备包括：拍摄系统，所述拍摄系统位于由第一方向和第二方向限定的平面中的场景的上方，所述拍摄系统包括多个数字摄像机(22)，每一数字摄像机包括正交阵列的像素，所有摄像机的各自光轴相对于与所述第一方向和第二方向垂直的第三方向(Z)倾斜第一角度(β)；以及具有确定图样的两个投影仪(24)，这些图样使得由所述投影仪中的每一投影仪投影的两条直线在由所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)限定的所述平面中对齐并且与将所述两个投影仪的光学中心互连的直线(242)共面。