发明名称 一种用于线锯切割的切割液
摘要 本发明公开了一种用于线锯切割的切割液。本发明的切割液成本低廉,具有很好的分散性和悬浮性,很好的润滑性和冷却性,非常好的稳定性,从而提高了切割的良品率;并且本发明的切割液环保,便于回收。
申请公布号 CN102344776A 申请公布日期 2012.02.08
申请号 CN201010246595.0 申请日期 2010.08.06
申请人 安集微电子(上海)有限公司 发明人 于昊;宫勇
分类号 C09K3/14(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I 主分类号 C09K3/14(2006.01)I
代理机构 上海翰鸿律师事务所 31246 代理人 李佳铭
主权项 一种用于线锯切割的切割液,含有:a)聚乙二醇组分          50~90wt%,b)分散剂                0.1~15wt%,c)有机碱                0.1~15wt%,d)表面活性剂            0.1~5wt%,e)金属腐蚀抑制剂        0.1~6wt%,和f)水                    3~20wt%。
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