| 摘要 |
물질 관리 시스템 및 방법은 정보(예컨대, 전자 정보) 저장소를 갖는 물질 저장 용기를 포함한다. 정보는 저장 장치로부터 공정 툴 제어기로 전달될 수 있으며 공정 툴 동작 파라미터를 설정하거나 또는 조정하는데에 이용될 수 있다. 물질 정보는 원격 분석에 의해 결정될 수 있고, 후에 이러한 물질을 포함하는 용기의 전자 정보 저장 장치로 전달될 수 있다. 소비자 설비내에서의 물질 저장 용기의 위치 및 이동이 물질 특유의 정보의 전송과 더불어 자동적으로 추적될 수 있다. 생산품 정보는 생산품 제조시에 이용되는 물질 특유의 정보와 연계되어 저장될 수 있다. |
