| 发明名称 | 阵列化金刚石膜及其制造方法 | ||
| 摘要 | 提供一种排列有大型的多边形金刚石晶粒的阵列化金刚石膜，通过容易地使避开晶界的元件配置形成，由此，能够实质上与在单晶基板上同等地高效地制造高性能的元件，并通过沿着晶界分割从而能够容易地制造元件。该阵列化金刚石膜是在不同种材料的结晶基板上，接着其结晶方位的信息开始成长的高取向金刚石膜，其中，在表面中，多边形金刚石晶粒以重心间距离为20μm以上的二维重复图案排列。 | ||
| 申请公布号 | CN102345169A | 申请公布日期 | 2012.02.08 |
| 申请号 | CN201110213666.1 | 申请日期 | 2011.07.28 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 横田嘉宏;橘武史 |
| 分类号 | C30B29/04(2006.01)I;C30B25/00(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 雒运朴 |
| 主权项 | 一种阵列化金刚石膜，其特征在于，是在不同种材料的结晶基板上，接着其结晶方位的信息开始成长的高取向金刚石膜，其中，在表面中，多边形金刚石晶粒以重心间距离为20μm以上的二维重复图案排列。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||