| 摘要 |
본 발명은 공정설비의 배기가스가 유입되는 스크러버본체의 유입구 측에 보조진공수단이 일체로 구비됨에 따라 공정설비와 스크러버본체를 연결하는 배기라인 중 드라이펌프와 스크러버본체 사이에 추가적인 진공라인부가 형성됨으로써 관내 클로깅이 저감되고 퍼지가스(질소)의 사용량 및 그로 인한 스크러버의 에너지 사용량이 대폭 감소될 뿐만 아니라 드라이펌프의 부하가 감소되어 전체적으로 배기가스의 처리효율이 증대될 수 있도록 한 보조진공수단이 구비된 스크러버에 관한 것이다. 본 발명에 따른 보조진공수단이 구비된 스크러버는, 드라이펌프가 설치된 배기라인을 통해 공정설비에 연결되어 상기 공정설비로부터 배출되는 배기가스를 세정 또는 정화시키는 스크러버본체와, 상기 스크러버본체의 유입구 측에 구비되고 상기 드라이펌프와 상기 스크러버본체 사이에 추가적인 진공라인부를 형성하여 상기 배기라인 내의 클로깅 현상을 억제하는 보조진공수단을 포함한다. |
